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专利推介:一种电子用多功能三维纳米结构表面增透膜片的制备方法

发布时间:2023年4月07日浏览人数:57信息来源:孟津区知识产权公共服务平台

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精品专利

● 专利号

CN201810208889.0

● 专利权人

河南科技大学

● 授权日期

2020-11-17

● 意向交易方式

专利权转让、专利实施许可、技术开发等

● 摘要      

      一种电子用三维纳米结构表面增透膜片的制备方法,包括以下步骤:使用C4F8气体镀膜制备出聚四氟乙烯;将制备的聚四氟乙烯薄膜加热至280~350℃,并保温10~20min,制备聚四氟乙烯小球掩膜层;采用等离子体刻蚀方法刻蚀作为基底的石英玻璃;清洗。本发明克服了传统镀膜方式制备的薄膜附着力差的缺点,三维纳米结构能够耐高温,耐湿热环境。本发明制备的增透膜,表面具有三维纳米凸起结构,从而使透射光增强,透射率增大,可以达到96%的增透效果。

● 意向交易金额

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