孟津区市场监督管理局（知识产权局）运营机构：洛阳公信知识产权事务所（普通合伙）
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发布时间：2024年2月21日浏览人数：73信息来源：孟津区知识产权公共服务平台
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精品专利
● 专利号
CN201810663953.4
● 专利权人
河南科技大学
● 授权日期 2020-07-28 ● 意向交易方式 专利权转让、专利实施许可、技术开发等 ● 摘要 本发明涉及一种高纯钽钌合金靶材的真空热压烧结制备方法，属于粉末冶金技术领域，所述制备方法包括原料粉的制备、混粉和靶材的真空热压烧结，具体包括如下步骤：将高纯钽和钌块体分别破碎成<2mm并筛分，得钽粉和钌粉；对钽粉和钌粉球磨至粒度在5‑200μm；将球磨好的两种粉体按照一定比例混料，得混合料；将混合料干燥后装入石墨模具；将模具放入热压炉中进行真空热压烧结，烧结结束后得高纯钽钌合金靶材的坯体；然后按照磁控溅射镀膜设备要求，对坯体进行加工，得到高纯钽钌合金靶材。采用本发明的制备方法，可显著降低传统铸造法制备难熔合金靶材的技术难度，大大提高了材料组织和性能的可控性，有助于显著改善后期的镀膜性能。 ● 意向交易金额 面议
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