孟津区市场监督管理局（知识产权局）运营机构：洛阳公信知识产权事务所（普通合伙）
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发布时间：2023年4月27日浏览人数：63信息来源：孟津区知识产权公共服务平台
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精品专利
● 专利号
CN201510444878.9
● 专利权人
河南科技大学
● 授权日期 2017-12-15 ● 意向交易方式 专利权转让、专利实施许可、技术开发等 ● 摘要 一种制备纳米钴薄膜包覆铜颗粒复合颗粒膜的方法，首先在单晶硅基体上沉积Cu‑Zr合金膜，然后在一定条件下退火，从而在单晶硅基体表面制备出ZrSix/Cu颗粒复合结构，然后在制备的ZrSix/Cu颗粒复合结构的表面沉积一层纳米Co薄膜即制得产品。本发明在单晶硅基体上制备Cu‑Zr合金薄膜，然后在一定条件下对薄膜样品进行退火，Zr的加入与保护气氛共同抑制了Cu与Si之间的扩散反应，在膜基界面形成一薄层ZrSix阻挡层，实现了无需模板在单晶硅基体表面制备出ZrSix/Cu颗粒复合结构，进而在其表面溅射沉积纳米钴薄膜就获得了大比表面积、高性能纳米钴薄膜包覆铜颗粒复合结构材料。 ● 意向交易金额 面议
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