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专利推介:一种高致密高温抗氧化钼基复合靶材及其制备方法

发布时间:2023年6月19日浏览人数:51信息来源:孟津区知识产权公共服务平台

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精品专利

● 专利号

CN202210056511.X

● 专利权人

河南科技大学

● 授权日期

2023-01-31

● 意向交易方式

专利权转让、专利实施许可、技术开发等

● 摘要      

      本发明涉及一种高致密高温抗氧化钼基复合靶材及其制备方法,所述钼基复合靶材包括钼基和氧化物,所述氧化物至少包括氧化铝和氧化铬中的一种,且钼基与氧化铝的质量比为(90~99):(0~5),钼基与氧化铬的质量比为(90~99):(0~5)。本发明采用水热法制备纯度高、分散好、形貌好、大小可控的纳米级氧化物二次相,选用液液掺杂技术保证前驱体得到均匀混合。二次相的引入,抑制了气相迁移过程,细化了复合粉体,最终得到近球形的纳米复合粉体。本发明相较于现有的熔炼法、湿化学法来说,成本更低,操作更方便,适用性更强,所制备的钼基复合靶材具有极高的致密度和高温抗氧化性能,具有广阔的规模化工业应用前景。

● 意向交易金额

面议