你好,欢迎访问孟津区知识产权公共服务平台
咨询热线:0379-63357786|收藏本站

当前位置:首页>专利技术转让许可

专利推介:一种含钠的氧化钼陶瓷溅射靶材制备方法

发布时间:2024年4月18日浏览人数:73信息来源:孟津区知识产权公共服务平台

       为积极推进我区科技成果转化,把专利转让给有需求的企业,让专利价值得到充分的发挥,推动科研创新成果更多惠及区内中小微企业,达到双赢的局面。化工材料产业运营中心不定期发布专利需求征集与推介,免费许可或低价转让给有需求的企业,欢迎咨询!


咨询热线:15237956777王先生

咨询地址:孟津区河阳路519号一楼西厅(洛阳市化工材料产业知识产权运营中心)


精品专利

● 专利号

CN202110402233.4

● 专利权人

河南科技大学

● 授权日期

2023-07-25

● 意向交易方式

专利权转让、专利实施许可、技术开发等

● 摘要      

      本发明属于磁控溅射用靶材的制备领域,具体涉及一种含钠的氧化钼陶瓷溅射靶材制备方法。该含钠的氧化钼陶瓷溅射靶材制备方法包括以下步骤:1)以三氧化钼粉、铝粉、钼酸钠粉为原料,经球磨混合,得到混合粉末;混合粉末中,钠原子占钼、氧、钠、铝总原子比为3~9%,铝原子占钼、氧、钠、铝总原子比为1~3%;2)将混合粉末在真空条件下进行放电等离子烧结。本发明的含钠的氧化钼陶瓷溅射靶材制备方法,采用氧化钼和钼酸钠为原料,铝作粘接剂,通过放电等离子烧结炉(SPS)实施烧结制备工艺,降低烧结温度,降低气体含量,提高钠元素收得率,提高靶材致密度和均匀性,制备出均匀、高致密、高钠含量的含钼钠陶瓷靶材。

● 意向交易金额

面议