发布时间:2024年4月22日浏览人数:140信息来源:孟津区知识产权公共服务平台
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精品专利
● 专利号
CN202210900254.3
● 专利权人
河南科技大学
● 授权日期
2023-10-27
● 意向交易方式
专利权转让、专利实施许可、技术开发等
● 摘要
一种蓝色铜合金薄膜的制备方法,其先取Cu‑Mo‑Zr复合靶置于真空室内抽真空,在真空度达到1*10<supgt;‑3</supgt;~9*10<supgt;‑3</supgt;Pa后,再向真空室内通入高纯氩气至真空室气压达到0.3~1.0MPa后,采用直流磁控溅射镀膜机使Cu‑Mo‑Zr复合靶溅射沉积于基体上,即得所述蓝色铜合金薄膜。本发明的通过元素Zr和Mo的加入,控制特定的真空度,使真空室内残余的氧原子进入到薄膜表面微结构的空隙、空位处,制备出蓝色合金薄膜,操作方便,成本低,绿色环保。
● 意向交易金额
面议